中国China ● 上海 Shanghai ● 2007年8月23日（13:30-17:00）

上海张江体育休闲中心　SHANGHAI ZHANGJIANG CLUB
上海张江高科技园区春晓路81号　
81 Chunxiao Rd. Zhangjiang Hi-tech, Park, Pudong, Shanghai

技术性参考议题：
◆ 光刻技术的发展和挑战
◆ 湿浸式光刻技术
◆ 针对300mm晶圆的光刻设备和材料
◆ X光曝光设备/离子投影曝光设备
◆ 光刻胶及其应用
◆ 光刻光源
◆ 光掩膜
◆ 先进封装和MEMS应用的超厚膜光刻技术
◆ 下一代光刻技术，如EUV, EPL, VUV, NIL……
◆ 由光刻引发的良率问题和掩模设计
◆ 以RET/OPC为核心的DFM

圆桌论坛拟定议题：
◆ 世界纳米级光刻技术的最新进展（综合报告）
◆ 超深亚微米光刻技术的交流
◆ 纳米级光刻技术探讨，对其工艺制程、设备及材料发展状况的评估
◆ 65纳米与45纳米光刻技术展望与实现
◆ 光刻设备及材料的国产化道路
◆ 纳米级光刻对集成电路设计相关性及合格率的探讨

订票须知 Registration Notes
晶圆厂、面板制造厂工程师免费
设备/材料供应商RMB300元/人，2人：RMB500元（可接受现场付费）
Registration Fee: RMB300/person. Two persons: RMB500

详细内容请参考please visit: www.cleanrooms-china.com
更多咨询请致电 For inquiry, please call:
张强/Joe Zhang　  joez@actintl.com.hk
蔡双华/Sunny Cai  sunnyc@actintl.com.hk
Tel: 86-21-62511200




先进光刻技术讲座暨圆桌论坛
登记 Registration Form
传真表格 :    DOC   

填写个人资料，并传真:Please fill in the form per person and fax to:
E-mail:irenel@actintl.com.hk

 86-21-52410030
电子表格

性别Sex: * 先生Mr. 女士Ms. 填表时间
Fill-in Date
中文姓名
Chn.Name:		 * 英文名字
Eng.Name:
公司中文名称
Chi Co.Name:		 *
公司英文名称
Eng.Co.Name:		 *
部门 Dept: 职务 Title: *
电话 Tel: * 传真 Fax: *
电邮 Email: *
公司网站 Web:
地址 Add *
城市 City: * 省份 Province: *
邮编 Post Code: * 国家 Country:
请选择付款方式 Payment method: *
人民币RMB 美元US$ 港元HK$  
 
 
人民币
RMB
 公司名称:深圳市雅时信息咨询有限公司
开户银行:招商银行深圳东园支行
银行帐号:4982375210001		 请付款后将付款凭证传真至:86-755-25988567
港元
USD/HKD
 Company Name: ACT International
Bank Name:The Bank of East Asia, Ltd.(Wanchai Branch)
Bank Add:G/F, 253-261 Hennessy Rd., Wanchai, HK (Tel:852-36091343)
Bank Account:015-521-25-01322-5 USD/HKD Saving Account		 After payment, please send back the Bank Advice by fax to: 852-28382766
Copyright © 2007 All Rights Reserved.